原初风机在微电子产业中的应用

“微芯片(硅片)是采用微电子技术制成的集成电路芯片,生产涉及许多不同的工序和系统。 ”
这些生产设施通常采用非常复杂的空气输送、控制和传送系统以确保对产品质量的控制始终如一。
这些系统采用的风机在整个加工过程中起着十分重要的作用,是满足严格的平衡、效率及噪声规范要求所必需的部件。
AG平台风机提供的风机产品能够满足最先进的微芯片生产对所需空气输送设备提出的严苛要求。

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AG平台风机在微芯片产业中的应用包括:
空气处理设备
洁净室循环机组
风机/过滤机组
模块化无蜗壳风机
超低振动风机
加工、电镀、印刷及热处理
高压空气处理
高温排气
排烟
臭味控制
物料处理及运输
径向叶片风机
风选台装置
除尘
低速率空气系统
典型应用
空气处理机组
除尘
再循环

Fan Systems is now SZTCF

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